無塵、無氧化型循環烤箱
機台用途及使用對象
本設備適合使用於無塵室100級以上的烘烤製程，產品在加熱過程中容易產生氧化的加工物及防止微塵附着，均建議用此烤箱烘烤，以電子產業中的袪除水份、膠乾燥、調質、預熱為主，如IC 封裝前後製程、晶圓烘烤、LCD製程應用、…等。
機台特性
1. 材質：內膛採用304#無磁性鏡面不鏽鋼製作。
外膛採用SS41#中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理後兩層防光面塗裝烤漆可防止微塵Particle。
2. 內箱採全機氬焊熔接；外膛施以矽膠填縫；內外結合，並採用矽膠迫緊；可得最佳之無氧、無塵之烘烤環境。
3. 層流風路設計：配合爐內飽和釋壓機構可得最勻稱之均勻分佈溫度
4. 附件：耐高溫溼日制HEPA filter(99.97%)、附壓差計
本設備適合使用於無塵室100級以上的烘烤製程，產品在加熱過程中容易產生氧化的加工物及防止微塵附着，均建議用此烤箱烘烤，以電子產業中的袪除水份、膠乾燥、調質、預熱為主，如IC 封裝前後製程、晶圓烘烤、LCD製程應用、…等。
機台特性
1. 材質：內膛採用304#無磁性鏡面不鏽鋼製作。
外膛採用SS41#中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理後兩層防光面塗裝烤漆可防止微塵Particle。
2. 內箱採全機氬焊熔接；外膛施以矽膠填縫；內外結合，並採用矽膠迫緊；可得最佳之無氧、無塵之烘烤環境。
3. 層流風路設計：配合爐內飽和釋壓機構可得最勻稱之均勻分佈溫度
4. 附件：耐高溫溼日制HEPA filter(99.97%)、附壓差計
規格：
型式
CNCR-1
CNCR-2
CNCR-3
CNCR-4
備註
內尺寸
40×50×40
60×50×60
60×50×90
80×50×100
1.室溫+0℃~250℃(制式)
外尺寸
103×72×98
85×84×148
85×84×178
104×113×190
電力
220V 1Ø/3Ø 3KW
220V 3Ø 5KW
220V 3Ø/3Ø 7.5KW
220V 3Ø/3Ø 9KW
保溫
進口岩石棉保溫絕熱(H型再加2層耐1260℃陶瓷棉)
保護
電子；機械雙重迴路系統保護；超溫保護；無塵型加壓差指示
進氣量
N2; CO2 MAX: 25 l/min. (at 0.5 kg/cm2G ; 20℃)
W×D×H(cm)
2.H為350℃機種
W×D×H(cm)
＊本公司對產品規格、設計特性均不斷研究改進，上述規格若有變更，恕不另行通知。＊
